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超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
工艺流程
医药行业制备超水的工艺大致分成以下几种:
1、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透 设备→中间水箱→中间水泵→离子交换器→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点
2、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→ 微孔过滤器→用水点
3、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点
注意事项：
一.PP滤芯:新的滤芯是白色，如果时间长了表面会淤积泥沙，呈现褐色，表示该滤芯不能用了，用水冲洗掉表面泥沙后，可以继续使用1周左右，但不能长期使用，它的寿命一般在3-6月。
二.RO反渗透膜:用水量在10升/天以内，可以冲洗3-5次，超过10L，则多冲洗几次。如果长时间(如四周以上)不用，需要将其取出浸泡在消毒液里，避免细菌的滋生，不过该过程比较麻烦，建议经常开机用少量的水，让机器内部的水形成流通，尽量减少死水的沉积时间过长。反渗透膜的寿命一般在2-3年。
三.活性炭:活性炭主要通过吸附作用，去除水中的异味、有机物等。自来水中有余氯，对反渗透膜有很大的氧化作用，所以必须由活性炭去除。活性炭从表面上看没有直观的变化，一般在一年左右达到饱和吸附就需要更换。
四.超纯化柱:作用是对反渗透纯水进行深度脱盐，最终达到超纯水水平。纯化柱的寿命由电阻率在线来表现，低于某个特定的电阻即表示纯化柱过期。